包含由大分子单体所制备的聚合物作为碱溶性树脂的光敏树脂组合物

摘要

本发明涉及一种光敏树脂组合物，该组合物包含作为碱溶性树脂的利用大分子单体制备的聚合物。该光敏树脂组合物可用于多种用途，如用于制造滤光片的光致抗蚀剂、保护层光致抗蚀剂、柱状间隔物和具有遮光性的绝缘材料；并且改善了光致抗蚀剂的物理性能，如有无残留物、耐化学性和耐热性的改善。

主权项

一种光敏树脂组合物，该组合物包含一种作为碱溶性树脂的聚合物，该聚合物的制备方法包括：1)通过热聚合引发剂和分子量控制剂，使一种或多种烯键式不饱和单体根据热聚合方法聚合，获得其一端具有酸基的产物，其中，所述烯键式不饱和单体选自芳香族乙烯、N‑乙烯基吡咯烷酮、N‑乙烯基咔唑、N‑乙烯基吗啉、不饱和酰亚胺及马来酸酐单体中，而所述分子量控制剂是其一端具有羧酸结构的硫醇化合物；2)使由上述步骤1制得的一端具有酸基的产物，与一端具有环氧结构的甲基丙烯酰基或丙烯酰基单体彼此进行反应，以制得大分子单体；以及3)使上述步骤2所制得的大分子单体与具有酸基的单体聚合，聚合反应时还包含作为共聚单体的具有不饱和乙烯基团的单体，所述具有酸基的单体为选自(甲基)丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸、富马酸、单甲基马来酸及其组合中的一种；并且所述具有不饱和乙烯基团的单体为选自不饱和羧酸酯单体、芳香族乙烯基单体、不饱和酰亚胺单体及其组合中的一种。