MOCVD尾气驱动旋转系统

摘要

本发明公开了一种MOCVD尾气驱动旋转系统，叶片式气动马达驱动石墨大盘同轴转动，马达的气室的进气口和出气口与气动系统管路连通；气动系统管路主要由尾气主管、尾气分流管和尾气辅助分流管组成，气动系统管路主要由尾气主管、尾气分流管和尾气辅助分流管，尾气主管与反应腔的尾气出口连通和马达气室连通，尾气分流管与尾气主管和出气口连通，尾气辅助分流管与马达气室和出气口连通，通过调整气动系统管路阀门开度，控制进入马达的反应腔内部的MOCVD反应尾气流量，通过辅助分流阀门的开度，实现无极调节马达的输出功率和转速，还可通过操纵控制气动系统管路的控制阀实现气马达输出轴的正转和反转，并可瞬时换向，驱动效率高，安全可靠。

主权项

一种MOCVD尾气驱动旋转系统，包括马达（6）和传动机构，所述马达（6）通过所述传动机构驱动设置于MOCVD反应腔（17）内部的石墨大盘（3）进行旋转，所述反应腔壁（16）密封，所述反应腔壁（16）上设有进气口（1）和出气口（2），所述进气口（1）位于朝向所述石墨大盘（3）的成膜工作面一侧的所述MOCVD反应腔（17）区域外围的反应腔壁（16）上，所述出气口（2）位于背向所述石墨大盘（3）的成膜工作面一侧的所述MOCVD反应腔（17）区域外围的反应腔壁（16）上，其特征在于：所述传动机构由传动轴（5）和大盘支撑架（4）固定连接形成，所述石墨大盘（3）固定安装在大盘支撑架（4）上，所述马达（6）的动力输出主轴带动所述传动轴（5）旋转，从而同步带动所述大盘支撑架（4）和所述石墨大盘（3）同轴转动；所述马达（6）为叶片式气动马达，所述马达（6）的气室的进气口和出气口与气动系统管路连通；所述气动系统管路主要由尾气主管（7）、尾气分流管（8）和尾气辅助分流管（9）组成，所述气动系统管路设置于背向所述石墨大盘（3）的成膜工作面一侧的所述MOCVD反应腔（17）内部，所述尾气主管（7）的始端与所述MOCVD反应腔（17）的尾气出口连通，所述尾气主管（7）的末端与所述马达（6）的气室连通，在所述尾气主管（7）上设置主阀门（11），所述尾气分流管（8）的始端与所述尾气主管（7）的连通口位于所述尾气主管（7）的始端和主阀门（11）之间，所述尾气分流管（8）的末端与所述反应腔壁（16）上的所述出气口（2）连通，在所述尾气分流管（8）上设置分流阀门（12），所述尾气辅助分流管（9）的始端与所述马达（6）的气室连通，所述尾气辅助分流管（9）的末端与所述反应腔壁（16）上的所述出气口（2）连通，在所述尾气辅助分流管（9）上设置辅助分流阀门（13），通过调整所述主阀门（11）和所述分流阀门（12）的开度，控制进入所述马达（6）的MOCVD反应腔（17）内部的MOCVD反应尾气流量，通过所述辅助分流阀门（13）的开度，调整所述马达（6）的输出功率及转速。