| 发明名称 | 研磨用组合物及使用其的研磨方法 | ||
| 摘要 | 本发明的研磨用组合物，其特征在于，其为在研磨氮化硅的用途中使用的研磨用组合物，其含有固定化有磺酸、羧酸这样的有机酸的胶体二氧化硅，研磨用组合物的pH为6以下。 | ||
| 申请公布号 | CN103180101A | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
| 申请号 | CN201180040355.8 | 申请日期 | 2011.08.10 |
| 申请人 | 福吉米株式会社 | 发明人 | 水野敬广;横田周吾;大和泰之;赤塚朝彦 |
| 分类号 | B24B37/00(2012.01)I;C09K3/14(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/00(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种研磨用组合物，其为在研磨氮化硅的用途中使用的研磨用组合物，其含有固定化有有机酸的胶体二氧化硅，研磨用组合物的pH为6以下。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||