| 发明名称 | 离子注入机多片晶圆定位系统及其定位方法 | ||
| 摘要 | 本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带测量晶圆托盘转动的角度，晶圆置于晶圆托盘上；晶圆托盘转动时光源发出光信号，传感器扫描晶圆边缘并将检测结果传给主控计算机。本发明结构紧凑能同时定位多片晶圆，在晶圆定位的同时可在该系统中取放其它晶圆，提高了离子注入机晶圆定位的整体效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102324366B | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
| 申请号 | CN201110274285.4 | 申请日期 | 2011.09.15 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 付成龙;万超;陈恳;周于;杨开明;朱煜;伍三忠 |
| 分类号 | H01J37/317(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/317(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 王莹 |
| 主权项 | 一种离子注入机多片晶圆定位系统，其特征在于，该系统包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机（1）、编码器（2）、同步带（3）、晶圆托盘（4）、光源（5）、传感器（6）以及支架（7）；电机（1）和编码器（2）之间通过同步带（3）连接，晶圆托盘（4）由电机（1）带动旋转，同时编码器（2）通过同步带（3）测量晶圆托盘（4）转动的角度，晶圆置于晶圆托盘（4）上；晶圆托盘（4）转动时光源（5）发出光信号，传感器（6）扫描晶圆边缘并将检测结果传给主控计算机。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区清华园北京100084-82信箱 | ||