发明名称 |
一种蚀刻方法 |
摘要 |
本发明公开一种蚀刻方法,所述方法先对掩膜处理后的工件进行初次蚀刻,基本形成断面呈梯形的凸凹图形,然后对初次蚀刻后的工件脱膜,并进行再次蚀刻,去掉棱边和棱角,最后进行将工件在蚀刻液中静液浸泡,进行进一步修形,最终在工件表面加工出具有平滑过度效果、断面呈凸凹状圆锥形的阵列微结构。本发明所公开的方法可用于所有可以用模具注塑加工出的产品中,例如电脑、手机、电子产品、汽车内饰、眼镜架等,可在产品表面加工出具有平滑过度效果、断面呈凸凹状圆锥形的阵列微结构,不仅增加美观,为人们的视觉带来丰富性和多样性,而且具有防滑效果。 |
申请公布号 |
CN103173767A |
申请公布日期 |
2013.06.26 |
申请号 |
CN201310099980.0 |
申请日期 |
2013.03.26 |
申请人 |
广东工业大学 |
发明人 |
郭钟宁;黄红光;宋卿;张永俊;唐勇军;王冠 |
分类号 |
C23F1/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23F1/02(2006.01)I |
代理机构 |
广州三环专利代理有限公司 44202 |
代理人 |
颜希文 |
主权项 |
一种蚀刻方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)对工件进行掩膜处理;(2)将掩膜处理后的工件放到蚀刻机中进行初次蚀刻,从蚀刻机喷嘴中喷出的蚀刻液a的压力为0.3~1.8psi,蚀刻时间3~10min;(3)对初次蚀刻后的工件进行脱膜处理;(4)将脱膜处理后的工件再放到蚀刻机中进行再次蚀刻,从蚀刻机喷嘴中喷出的蚀刻液a的压力为0.1~0.8psi,蚀刻时间2~6min;(5)对再次蚀刻后的工件进行清洗,然后放到蚀刻液b中浸泡,浸泡时间0.5~2min;(6)将经过步骤(5)处理后的工件清洗,并去除工件表面杂质。 |
地址 |
510006 广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号 |