物品保管设备以及物品保管方法

摘要

本发明的物品保管设备具备：相对于多个收纳部运送运送容器的运送装置，控制装置，以及检测惰性气体相对于多个收纳部的供给状态的供给状态检测装置。控制装置基于供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定，区别出判定为未恰当地供给惰性气体的禁止收纳部和除此之外的许可收纳部，对多个收纳部进行管理。控制装置执行退避用运送处理，将收纳在从许可收纳部切换成禁止收纳部的收纳部中的运送容器向许可收纳部运送。

主权项

一种物品保管设备，具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，以及控制上述运送装置的动作的控制装置，其特征在于，还具备检测惰性气体相对于上述多个收纳部的供给状态的供给状态检测装置，上述控制装置构成为，基于上述供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定的供给状态判定，区别出判定为未恰当地供给惰性气体的禁止收纳部和除此之外的许可收纳部，对上述多个收纳部进行管理，并且执行退避用运送处理，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而从上述许可收纳部切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向被作为上述许可收纳部进行管理的上述收纳部运送。