发明名称 |
光纤阵列定位组件 |
摘要 |
本实用新型公开了一种光纤阵列定位组件,包括基板,基板包括前后两个区域,前端区域为裸光纤定位固定区域,含有均匀分布的U形槽,相邻的两个U形槽之间由宽度均匀相等的脊背间隔,脊背的宽度在10-18um之间,U形槽的侧壁与基板上表面的交接处为脊背的棱,U形槽的侧壁与基板上表面垂直;后端区域为整体往下凹陷的平台阶,用来固定带塑料包层光纤,所述平台阶距离基板上表面的凹陷深度为200-350um,平台阶与前端U形槽区域紧密连接,之间无任何隔断。本实用新型只采用多晶硅薄膜作为单一掩膜层,大大减少了整个工艺流程步骤,缩短了生产周期,且各道工艺都与集成电路工艺兼容,可进行大批量生产,生产成本低、周期短。 |
申请公布号 |
CN203025387U |
申请公布日期 |
2013.06.26 |
申请号 |
CN201320034287.0 |
申请日期 |
2013.01.23 |
申请人 |
无锡创润传感科技有限公司 |
发明人 |
徐艇 |
分类号 |
G02B6/38(2006.01)I;G02B6/36(2006.01)I |
主分类号 |
G02B6/38(2006.01)I |
代理机构 |
上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 |
代理人 |
任益 |
主权项 |
一种光纤阵列定位组件,包括基板(1),其特征在于:所述基板(1)包括前后两个区域,前端区域(2)为裸光纤定位固定区域,含有均匀分布的U形槽(7),相邻的两个U形槽(7)之间由宽度均匀相等的脊背(8)间隔,脊背(8)的宽度在10‑18um之间,U形槽(7)的侧壁与基板上表面的交接处为脊背的棱,U形槽(7)的侧壁与基板上表面垂直;后端区域(3)为整体往下凹陷的平台阶,用来固定带塑料包层光纤,所述平台阶距离基板上表面的凹陷深度为200‑350um,平台阶与前端U形槽区域紧密连接,之间无任何隔断。 |
地址 |
214073 江苏省无锡市南长区飞宏路58号301室 |