一种同轴宏微复合直线运动平台装置及其精度补偿方法

摘要

本发明公开了一种同轴宏微复合直线运动平台装置及其精度补偿方法。包括有宏运动装置、微运动装置、控制装置和位置检测装置。其中宏运动装置由伺服驱动器、直线驱动模块、直线导轨、底座和宏动工作平台构成；微运动装置是由压电陶瓷驱动器或音圈电机、柔性铰链放大机构组成；柔性铰链放大机构由柔性铰链、微动工作平台、框架构成；压电陶瓷驱动器或音圈电机驱动柔性铰链放大结构，带动微动工作平台产生位移；位置检测装置实时检测宏微运动工作平台的位移信息，并将其送给所述控制装置；控制装置根据宏微运动的位移传感器检测信息，驱动微动工作平台实时补偿宏运动装置的运动，进而实现所述同轴宏微复合直线运动平台装置的高静态精度及高动态精度。

主权项

一种同轴宏微复合直线运动平台装置，其特征在于包括有宏运动装置、微运动装置、控制装置和位置检测装置，其中宏运动装置包括有伺服驱动器（1）、直线驱动模块、直线导轨（2）、底座（4）和宏动工作平台（5），伺服驱动器（1）通过直线驱动模块与直线导轨（2）连接，直线导轨（2）装设在底座（4）上，宏动工作平台（5）安装在直线导轨（2）上，微运动装置包括有高精度微动驱动器及柔性铰链放大机构，柔性铰链放大机构包括有柔性铰链（8）、微动工作平台（9）、框架（10），其中柔性铰链（8）安装在框架（10）上，微动工作平台（9）与柔性铰链（8）连接，高精度微动驱动器驱动柔性铰链（8）运动，微动工作平台（9）上安放工作负载，所述微运动装置通过框架（10）固定在宏动工作平台（5）上，用来检测宏动工作平台（5）及微动工作平台（9）相对于底座（4）的位移信息的位置检测装置包括宏动位移检测装置和微动位移检测装置，微动位移检测装置由固定在宏运动装置内底座（4）上的光栅尺（13）和固定在微动工作平台（9）上的光栅尺读数头（11）构成；宏动位移检测装置由连接在伺服驱动器（1）上的编码盘构成，控制装置与伺服驱动器（1）及高精度微动驱动器为电连接，控制装置向伺服驱动器（1）及高精度微动驱动器发出位移控制指令，实现微运动装置对宏运动装置的精度补偿。