单晶硅制造装置炉室结构

摘要

本发明公开了一种单晶硅制造装置炉室结构，它包括副室外壳、主室外壳、石英坩埚、石墨坩埚、石墨加热器、石墨隔套；石墨隔套套装在主室外壳内壁；在副室外壳侧壁上设有氩气进口，在主室外壳下部设有氩气出口；本发明改进在于：在石墨坩埚、石墨加热器、石墨隔套上镀上一层SiC；石墨隔套由石墨绝缘材料制成，为上端带法兰边的套状构件，与主室外壳内壁、底壁形成夹腔；在石墨隔套法兰边上设有与夹腔相通的孔，形成轴向气流通道，在石墨隔套侧壁上设有与夹腔相通的孔，形成径向气流通道；氩气出口与夹腔相通。本发明能将从石英坩埚内熔体表面挥发的大部分SiO气体有效地被氩气带出炉室，有效减少CO气体的生成，从而显著降低生长的单晶硅碳污染程度。

主权项

一种单晶硅制造装置炉室结构，它包括副室外壳（1）、主室外壳（2）、石英坩埚（5）、石墨坩埚（7）、石墨加热器（6）、石墨隔套（8）；所述石英坩埚（5）置于石墨坩埚（7）内，石墨加热器（6）设置在石墨坩埚（7）的周围；从石英坩埚（5）内的熔硅（4）中拉出柱状单晶硅（3）；所述石墨隔套（8）套装在主室外壳（2）内壁，将石墨加热器（6）包围在其内侧空间；在副室外壳（1）侧壁上设有氩气进口（1.1），在主室外壳（2）下部设有氩气出口（2.1）；其特征在于：在所述石墨坩埚（7）、石墨加热器（6）、石墨隔套（8）上镀上一层SiC；所述石墨隔套（8）由石墨绝缘材料制成，为上端带外翻法兰边的套状构件，其与主室外壳（2）内壁、底壁形成夹腔（8.2）；在石墨隔套（8）的法兰边上设有与夹腔（8.2）相通的孔（8.1），形成轴向气流通道，在石墨隔套（8）的侧壁上设有与夹腔（8.2）相通的孔（8.3），形成径向气流通道；所述氩气出口（2.1）与夹腔（8.2）相通。