发明名称 | F-θ物镜II | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种可用于激光材料加工的扫描设备的F-θ物镜。这些透镜L1至L4与其之间的空隙d3、d5、d7的相继连接的设置形成了255mm的总焦距f。该F-θ物镜对于1064nm的波长进行校准。 | ||
申请公布号 | CN203025409U | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
申请号 | CN201220734902.4 | 申请日期 | 2012.12.27 |
申请人 | 业纳光学系统有限公司 | 发明人 | 约格·翁德里希;乌尔里希·克鲁格 |
分类号 | G02B13/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B13/00(2006.01)I |
代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人 | 邓琪 |
主权项 | 一种F‑θ物镜,其特征在于,所述F‑θ物镜包括四个独立的透镜,其中一个第一独立的透镜L1为一个具有焦距f1的双凹透镜,一个第二独立的透镜L2为一个具有焦距f2的凹凸透镜,一个第三独立的透镜L3为一个具有焦距f3的平凸透镜,以及一个第四独立的透镜L4为一个具有焦距f4的双凸透镜,并且所述F‑θ物镜的总焦距为f;其中焦距f1至f4与总焦距f的比率满足下列条件:‑0.6<f1/f<‑0.4;+7.5<f2/f<+9.0;+0.7<f3/f<+0.9;+0.9<f4/f<+1.0。 | ||
地址 | 德国耶拿市高茨维策大街25号 |