发明名称 F-θ物镜II
摘要 本实用新型涉及一种可用于激光材料加工的扫描设备的F-θ物镜。这些透镜L1至L4与其之间的空隙d3、d5、d7的相继连接的设置形成了255mm的总焦距f。该F-θ物镜对于1064nm的波长进行校准。
申请公布号 CN203025409U 申请公布日期 2013.06.26
申请号 CN201220734902.4 申请日期 2012.12.27
申请人 业纳光学系统有限公司 发明人 约格·翁德里希;乌尔里希·克鲁格
分类号 G02B13/00(2006.01)I 主分类号 G02B13/00(2006.01)I
代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人 邓琪
主权项 一种F‑θ物镜,其特征在于,所述F‑θ物镜包括四个独立的透镜,其中一个第一独立的透镜L1为一个具有焦距f1的双凹透镜,一个第二独立的透镜L2为一个具有焦距f2的凹凸透镜,一个第三独立的透镜L3为一个具有焦距f3的平凸透镜,以及一个第四独立的透镜L4为一个具有焦距f4的双凸透镜,并且所述F‑θ物镜的总焦距为f;其中焦距f1至f4与总焦距f的比率满足下列条件:‑0.6<f1/f<‑0.4;+7.5<f2/f<+9.0;+0.7<f3/f<+0.9;+0.9<f4/f<+1.0。
地址 德国耶拿市高茨维策大街25号