发明名称 | 合成石英玻璃基板抛光浆液及采用该抛光浆液制造合成石英玻璃基板 | ||
摘要 | 在合成石英玻璃基板的抛光中,采用一种抛光浆液,该抛光浆液包括(i)包括五肽的重复单元:-[缬氨酸-脯氨酸-甘氨酸-缬氨酸-甘氨酸]-、并且具有800-150,000分子量的低聚肽,或者该五肽与另-单体的共聚物,和(ii)胶体溶液。 | ||
申请公布号 | CN103173128A | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
申请号 | CN201210599019.3 | 申请日期 | 2012.11.16 |
申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 松井晴信;原田大实;竹内正树 |
分类号 | C09G1/02(2006.01)I;B24B37/04(2012.01)I | 主分类号 | C09G1/02(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 任宗华 |
主权项 | 一种用于合成石英玻璃基板的抛光浆液,包括(i)包括五肽的重复单元:‑[缬氨酸‑脯氨酸‑甘氨酸‑缬氨酸‑甘氨酸]‑、并且具有800至150,000分子量的低聚肽,或者由该五肽与另‑可共聚单体的共聚物,和(ii)胶体溶液。 | ||
地址 | 日本东京 |