研磨垫及其制造方法

摘要

本发明目的在于提供耐久性优良、并且研磨层与基材层的粘合性良好的研磨垫。本发明的第一发明是在基材层上设置研磨层的研磨垫，其特征在于，所述研磨层包含具有平均气泡直径20～300μm的近似球状的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体，所述聚氨酯发泡体含有异氰酸酯成分和含活性氢化合物作为原料成分，所述含活性氢化合物含有30～85重量％官能团数2～4、羟值20～100mgKOH/g的高分子量多元醇。

主权项

一种具有基材层和聚氨酯发泡层的研磨垫的制造方法，包括：通过机械发泡法制备气泡分散的氨基甲酸酯组合物的工序；将气泡分散的氨基甲酸酯组合物涂布于脱模片上的工序；将基材层层压到气泡分散的氨基甲酸酯组合物上的工序；通过在利用挤压手段使厚度均匀的同时使气泡分散的氨基甲酸酯组合物固化而形成具有近似球状的连续气泡的聚氨酯发泡层的工序；和剥离聚氨酯发泡层下面侧的脱模片从而使剥离脱模片后的聚氨酯发泡层的表面为研磨面侧的工序，所述基材层具有与聚氨酯发泡体同等的硬度或者更硬。