发明名称 |
X射线摄像装置 |
摘要 |
由在一个面(11)侧设置有排列有检测入射的X射线的多个检测像素的X射线检测部且另一个面(12)成为X射线入射面的背面入射型的固体摄像元件(10)以及设置于摄像元件(10)的入射面(12)上且用于波长比成为检测对象的X射线长的光的遮蔽的遮蔽层(20)构成X射线摄像装置(1)。遮蔽层(20)具有直接设置于入射面(12)上的第1铝层(21)、设置于第1铝层(21)上的第2铝层(22)、以及设置于第1、第2铝层(21、22)之间且用于紫外光的遮蔽的紫外光遮蔽层(25)。由此,实现了可以抑制X射线检测中的噪声光的检测的影响的X射线摄像装置。 |
申请公布号 |
CN102282480B |
申请公布日期 |
2013.06.26 |
申请号 |
CN201080004505.5 |
申请日期 |
2010.03.18 |
申请人 |
浜松光子学株式会社 |
发明人 |
高木慎一郎;米田康人;铃木久则;村松雅治;常深博;鹤刚;堂谷忠靖;幸村孝由 |
分类号 |
G01T1/24(2006.01)I;H01L27/14(2006.01)I;H01L31/09(2006.01)I |
主分类号 |
G01T1/24(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
一种X射线摄像装置,其特征在于,所述X射线摄像装置具备:背面入射型的固体摄像元件,在一个面侧设置有排列有检测入射的X射线的多个检测像素的X射线检测部,另一个面成为X射线入射面;以及遮蔽层,设置于所述固体摄像元件的所述X射线入射面上,且用于波长比成为检测对象的X射线长的光的遮蔽,所述遮蔽层具有:直接设置于所述X射线入射面上的第1铝层;设置于所述第1铝层上的第2铝层;以及设置于所述第1铝层以及所述第2铝层之间且用于紫外光的遮蔽的紫外光遮蔽层。 |
地址 |
日本静冈县 |