具同心圆探针座之半导体测试设备

摘要

本发明为一种具同心圆探针座之半导体测试设备，包括有一基座、一测试头、一外环针座、以及一内环针座。其中，内环针座先套设于外环针座之内环面内，内环针座之卡合凹槽系对应连结至外环针座之径向凸柱，外环针座与内环针座一同组设于测试头之测试载板上，外环针座之复数个外环探针与内环针座之复数个内环探针分别与测试载板电性连接。因此，本发明藉由内环针座与外环针座组合或分离，而达到扩充测试之功效，故可选用两种不同规格之探针卡进行测试，无须更改其他硬体，即能达到快速变换测试规格之目的，以能提升测试机台之竞争力。