紫外线照射单元及紫外线照射处理装置

摘要

课题;本发明是提供可将惰性气体快速地充满于准分子灯的周围的紫外线照射单元作为目的。;解决手段;本发明的紫外线照射单元，是具备：在被形成于放电容器内的密闭空间封入有放电气体，而且隔着该密闭空间有一对电极被形成于上述放电容器的外表面的复数准分子灯，及围绕该复数准分子灯且垂直方向的一方向被开口的灯罩，及用以将惰性气体供应于该灯罩的内部的气体供应机构的紫外线照射单元，其特征为：在上述灯罩内，空间封闭体被配置于藉由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。