先进制程控制的方法和装置

摘要

本发明提供一种先进制程控制方法，包括：将第一变数设定为初始值；将第二变数设定为初始值；在先进制程控制的控制下，根据第一和第二变数之每一者的函数来操作工具；量测第一和第二参数，其中第一和第二参数是不同的，并且有关于工具的操作；根据第一参数的函数，决定第一变数之新变数值，并根据第二参数的函数与第二变数之目前变数值，计算第二变数之新变数值；以及重复上述操作、量测、决定和计算步骤。