透明导电膜的制作方法

摘要

一种透明导电膜的制作方法，包括以下所述之步骤。首先，提供一反应腔室，其中反应腔室具有至少一靶材以及至少一加热装置。然后，于反应腔室内产生一电浆，电浆位于靶材上方。接着，利用加热装置将电浆由一待机温度升温至一工作温度，并将一硬质塑胶基板以一特定速率通过电浆上方，其中被电浆撞击后的该靶材粒子将以溅射方式沈积于硬质塑胶基板上形成一透明导电膜。