曝光系统及制造装置的方法

摘要

一种曝光系统包含曝光设备及一流体供给设备，其经由流动通道供给流体至该曝光设备。该流体供给设备包含一流体发送单元、一热交换器、一第一温度感应器，其量测该流体的温度、一过滤器，移除在流体中之不想要物质、及一加热器，安置在该流体供给设备的过滤器中之下游，用以调整该流体的温度。该曝光设备包含一第二温度感应器，其量测由该流体供给设备所供给之流体的温度。该加热器根据该第二温度感应器所量测得之温度，调整该流体的温度。