发明名称 利用氧化锌前驱物以制备氧化锌薄膜的方法
摘要 以电化学技术制备氧化锌薄膜之方法,其系先于导电基材上形成氧化锌前驱物薄膜,其后烧结该氧化锌前驱物薄膜而得到氧化锌薄膜。
申请公布号 TWI399460 申请公布日期 2013.06.21
申请号 TW097150668 申请日期 2008.12.25
申请人 财团法人纺织产业综合研究所 新北市土城区承天路6号 发明人 何文贤
分类号 C25D3/22;C25D5/50;C01G9/02;H01L31/04 主分类号 C25D3/22
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 新北市土城区承天路6号