铬合金靶材及具有硬质薄膜之金属材料

摘要

一种铬合金靶材，由铬及矽组成，或由铬及锗组成，其中铬所占之重量百分比为5%至95%，且当经由物理气相溅镀制程所产生之薄膜的厚度大于或等于2微米(μm)时，上述薄膜之威氏硬度(Vickers Hardness)值分别为Hv800至Hv1200及Hv800至Hv1000。上述之靶材可用来产生一种具有硬质薄膜之金属材料，此金属材料包含金属基板以及铬矽合金薄膜，或包含金属基板以及铬锗合金薄膜。