太阳能电池之电极制造设备

摘要

一种太阳能电池之电极制造设备，适用于一玻璃基板上成形一电极，太阳能电池之电极制造设备包含：依序连接之一常压预热装置、一真空溅镀装置、一持温装置，及一蚀刻装置。常压预热装置具有一内部维持一大气压力的预热腔室，及一装设于预热腔室中并输出热量的加热件。真空溅镀装置内部维持于真空状态并进行加温与溅镀，以于所述玻璃基板表面溅镀上一层透明导电材料。利用设置于真空溅镀装置之前的常压预热装置，使玻璃基板于常压状态下先预热升温，避免玻璃基板进入真空溅镀装置之真空加温室中时，瞬间高温造成裂痕，提高生产良率。