| 摘要 |
<p>Gerät zur Abscheidung organischer Schichten, umfassend: eine Abscheidungsquelle (110) zur Abgabe eines Abscheidungsmaterials; eine Abscheidungsquellendüseneinheit (120), die auf einer Seite der Abscheidungsquelle (110) angeordnet ist und eine Mehrzahl von Abscheidungsquellendüsen (121) umfasst; ein Strukturierungsschlitzblatt (150), das gegenüber der Abscheidungsquellendüseneinheit (120) angeordnet ist und eine Mehrzahl von Strukturierungsschlitzen (150) umfasst; eine elektrostatische Einspannvorrichtung (600), wobei ein Substrat (500) in die elektrostatische Einspannvorrichtung (600) einspannbar und aus dieser lösbar ist; Einspannvorrichtungsbewegungselemente (230), die mit der elektrostatischen Einspannvorrichtung (600) kombiniert und so ausgelegt sind, dass sie die elektrostatische Einspannvorrichtung (600) bewegen; und Führungselemente (221) zum Führen der Bewegung der Einspannvorrichtungsbewegungselemente (230), wobei die Einspannvorrichtungsbewegungselemente (230) erste Magnetkraftgeneratoren (231) umfassen und die Führungselemente (221) zweite Magnetkraftgeneratoren (240), die bezüglich ihrer Position den ersten Magnetkraftgeneratoren (231) entsprechen, umfassen, wobei die Einspannvorrichtungsbewegungselemente (230) durch von den ersten Magnetkraftgeneratoren (231) und den zweiten Magnetkraftgeneratoren (240) erzeugte Magnetkräfte auf den Führungselementen (221) beweglich sind.</p> |
