| 摘要 |
Чувствительный элемент микромеханического датчика, содержащий маятник, упругий подвес, соединяющий маятник с рамкой чувствительного элемента с расположенными на ней площадками для крепления рамки к основанию, в рамке чувствительного элемента сформированы сквозные щели, которые расположены по периметру рамки, отличающийся тем, что сквозные щели сформированы непрерывно с трех сторон, образуя внутреннюю и внешнюю рамки, с общей стороной, упругий подвес сформирован на внутренней стороне внутренней рамки, кроме того, на противоположной, общей стороне рамок сформирована дополнительная площадка крепления. |
