摘要 |
1. Высокотемпературный полупроводниковый тензорезистор, содержащий подложку, выполненную из полимерного материала, тензочувствительную пленку, закрепленную на подложке, и металлические контактные площадки, отличающийся тем, что полимерным материалом, из которого выполнена подложка, является органосиликатная композиция ОС-52-24, а тензочувствительная пленка выполнена из моносульфида самария.2. Высокотемпературный полупроводниковый тензорезистор по п.1, отличающийся тем, что тензочувствительная пленка закрыта сверху защитным элементом, изготовленным из органосиликатной композиции ОС-52-24. |