OMCTS-Verdampfungsverfahren

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das Verdampfen des erhitzten SiO2-Einsatzmaterials eine Injektionsphase in einer Expansionskammer umfasst, in der das SiO2-Einsatzmaterial in feine Tröpfchen atomisiert wird, wobei die Tröpfchen einem mittleren Durchmesser von weniger als 5 μm, vorzugsweise weniger als 2 μm, aufweisen, und die Atomisierung der Tröpfchen in einem vorgewärmten Trägergasstrom stattfindet, der eine Temperatur von mehr als 180°C aufweist.