| 摘要 |
1. Чувствительный элемент сенсора для газового или жидкостного анализа, выполненный в виде щелевой кремниевой структуры, имеющей толщину стенок и ширину зазоров между ними, выбранные из интервала значений от 0,5 до 50 мкм, а глубину щелей от 10 до 200 мкм.2. Чувствительный элемент сенсора для газового или жидкостного анализа по п.1, характеризующийся тем, что щелевая кремниевая структура имеет на поверхности стенок пористый наноструктурированный слой, толщиной от 10 до 500 нм, при этом поры в слое занимают 30-90% от его объема. |
