Diffusionssperrschicht für Dünnschicht-Solarzelle

摘要

Ein Verfahren zum Fertigen einer Solarzelle, z. B. CuZnSn(S,Se)(CZTSSe), das die folgenden Schritte beinhaltet. Ein Substrat wird mit einer Molybdän(Mo)-Schicht beschichtet. Eine Spannungsentlastungsschicht wird auf die Mo-Schicht aufgebracht. Die Spannungsentlastungsschicht wird mit einer Diffusionssperre beschichtet. Bestandteile der Absorberschicht werden auf die Diffusionssperre aufgebracht, wobei die Bestandteile Schwefel (S) und/oder Selen (Se) aufweisen. Die Bestandteile werden wärmebehandelt, um eine Absorberschicht auszubilden, wobei die Spannungsentlastungsschicht thermische Spannungen abbaut, die in die Absorberschicht eingebracht werden, und wobei die Diffusionssperre die Diffusion von S und/oder Se in die Mo-Schicht blockiert. Eine Pufferschicht wird auf der Absorberschicht ausgebildet. Eine transparente leitfähige Elektrode wird auf der Pufferschicht ausgebildet.