Mikromechanisches Halbleitererfassungsbauelement

摘要

Ein mikromechanisches Halbleitererfassungsbauelement umfasst eine mikromechanische Erfassungsstruktur, die konfiguriert ist zum Liefern eines elektrischen Erfassungssignals, und ein in der mikromechanischen Erfassungsstruktur bereitgestelltes piezoresistives Erfassungsbauelement, wobei das piezoresistive Erfassungsbauelement ausgelegt ist zum Erfassen einer das elektrische Erfassungssignal störenden mechanischen Beanspruchung und konfiguriert ist zum Liefern eines elektrischen Störsignals auf der Basis der das elektrische Erfassungssignal störenden erfassten mechanischen Beanspruchung.