一种反应腔室以及应用该反应腔室的等离子体加工设备

摘要

一种反应腔室以及应用该反应腔室的等离子体加工设备，包括外腔室、内腔室以及气体输送管，所述内腔室设置在所述外腔室内，在所述内腔室和所述外腔室之间形成有气体通道，所述气体通道与外腔室的排气通道连通，所述气体输送管设置在所述内腔室内，在所述气体输送管上设有向所述内腔室输送工艺气体的进气口，在所述内腔室的室壁上设有排气口，其中，在所述排气口位置设有用于调节所述排气口大小的排气口调节单元，从而可以调节内腔室的温度分布，进而可以提高等离子体加工设备的可调性。

主权项

一种反应腔室，包括外腔室、内腔室以及气体输送管，所述内腔室设置在所述外腔室内，且在所述内腔室和所述外腔室之间形成有气体通道，所述气体通道与外腔室的排气通道连通，所述气体输送管设置在所述内腔室内，在所述气体输送管上设有向所述内腔室输送工艺气体的进气口，在所述内腔室的室壁上设有排气口，其特征在于，在所述排气口位置设有用于调节所述排气口大小的排气口调节单元。