基于可调谐珐波利-珀罗滤波器和阵列式探测器光谱仪的超高分辨率光谱仪

摘要

本发明公开了一种基于可调谐珐波利-珀罗滤波器和阵列式探测器光谱仪的超高分辨率光谱仪。它由一个可调谐的珐波利-珀罗滤波器和一个阵列式探测器光谱仪组成，待测的宽带光谱信号入射到可调谐珐波利-珀罗滤波器，转换成一个梳状的光谱出射，由后端的阵列式探测器光谱仪进行测量。通过逐次调节可调谐珐波利-珀罗滤波器的扫描电压，并利用阵列式探测器光谱仪同时记录该时刻可调谐珐波利-珀罗滤波器输出的梳状光谱，就可以同时获得一个宽波段光谱范围内的整体光谱信息，并具有超高光谱分辨率的特点。本发明可获得一种结构简单、光谱分辨率极高、测量时间很短的新型光谱测量仪器，适用于多种气体成分本征吸收光谱的同时测量。

主权项

一种基于可调谐珐波利‑珀罗滤波器和阵列式探测器光谱仪的超高分辨率光谱仪，其特征在于它由一个可调谐的珐波利‑珀罗滤波器（1）和一个阵列式探测器光谱仪(2)组成，待测的宽带光谱信号入射到可调谐珐波利‑珀罗滤波器(1)，转换成一个梳状的光谱出射，由后端的阵列式探测器光谱仪（2）进行测量。