一种射线探测器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种射线探测器及其制作方法。在基板上依次形成栅极层和绝缘层，并在形成有上述绝缘层的基板上形成光电二极管和源漏极层；令该源漏极层的漏极与上述光电二极管相连接，并在上述源漏极层上形成有源层，令该有源层与所述绝缘层相接触；在上述有源层上以及上述源漏极层上形成第一钝化层；在上述光电二极管上，源漏极层上，以及第一钝化层上形成导电薄膜层，并在导电薄膜层上制作第二钝化层。采用本发明技术方案相比现有技术减少了掩膜次数，有效缩短了生产周期，提高了生产效率，降低了制作成本，并且提高射线探测器的灵敏度，减小了射线探测器的功耗。

主权项

一种射线探测器，其特征在于，包括：基板；形成在所述基板上的栅极层；形成在所述栅极层上的绝缘层；在形成有所述绝缘层的基板上形成的光电二极管；在形成有所述绝缘层的基板上形成的源漏极层，所述源漏极层的漏极与所述光电二极管相连接；形成在所述源漏极层上的有源层，所述有源层连接所述源漏极层；形成在所述有源层上以及所述源漏极层上的第一钝化层，并在所述第一钝化层上开设过孔；形成在所述光电二极管上、第一钝化层上及所述过孔中的导电薄膜层。