一种基于动态聚焦的激光加工装置

摘要

本发明提出一种基于动态聚焦的激光加工装置，包括动态聚焦镜、光束精细扫描模块和大幅面扫描模块，所述动态聚焦镜完成激光光束的动态聚焦，动态改变激光焦点到激光动态聚焦镜的距离；所述光束精细扫描模块，可以高速高精度完成局部区域的精细图形结构扫描控制，可以高速高效完成局部轮廓填充扫描，可以辅助所述大幅面扫描模块进行激光光束加速减速控制，大大减少因所述大幅面扫描模块的振镜镜片摆动加减速所占用的时间并提高加工质量，同时更好地保持激光焦点在工件表面运动的速度均匀性；所述大幅面扫描模块，保留了大幅面扫描激光加工能力。

主权项

一种基于动态聚焦的激光加工装置，其特征在于：包括动态聚焦镜、光束精细扫描模块和大幅面扫描模块，所述动态聚焦镜包括至少两个串联的透镜，所述动态聚焦镜通过动态调整内部透镜之间的间距，对发射到其上的入射激光束进行动态聚焦，以形成第一光束，并将该第一光束发射到所述光束精细扫描模块；所述光束精细扫描模块，位于所述动态聚焦镜输出第一光束的一侧，并对所述第一光束进行空间运动调制，以形成发射到所述大幅面扫描模块的第二光束；所述大幅面扫描模块，位于所述光束精细扫描模块输出第二光束的一侧，并对从所述光束精细扫描模块输出的第二光束进行传输方位控制，以形成发射到待加工对象上的第三光束。