一种检测洁净度的装置

摘要

本实用新型公开了一种检测洁净度的装置，包括粒子计数器、能够将气体吸入所述粒子计数器的负压吸气组件、能够吹出洁净气体的正压供气组件、能够罩在待测物体表面的待测区域上方的罩体、与所述罩体紧密连接的密封圈；其中，所述负压吸气组件以及正压供气组件的一端分别与所述粒子计数器相连，另一端分别深入到所述罩体与待测区域之间的空间中。本实用新型通过罩体与密封圈的结合使用，实现了对待测物体表面的空间隔离，从根本上杜绝了待测物体表面粒子的溢出和待测区域外粒子的混入，从源头上确保了对待测区域进行洁净度检测的准确度，有效提高了洁净度检测的准确性。

主权项

一种检测洁净度的装置，其特征在于，该装置包括粒子计数器、能够将气体吸入所述粒子计数器的负压吸气组件、能够提供洁净气体的正压供气组件、能够罩在待测物体表面的待测区域上方的罩体、与所述罩体紧密连接的密封圈；其中，所述负压吸气组件以及正压供气组件的一端分别与所述粒子计数器相连，另一端分别深入到所述罩体与待测区域之间的空间中。