磷扩散炉抽风管

摘要

本实用新型公开了一种磷扩散炉抽风管，该抽风管为U形管，抽风管一端设置开口方向与抽风管左侧管道垂直的进风口，抽风管另一端设有高于进风口的出风口，该出风口开口向上并连接抽风机，抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层，所述抽风管的左侧管道顶壁上设有喷淋氨水的氨水喷嘴，所述管道本体底端开口并连接一密封水箱。本实用新型采用U形抽风管，且抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层，因而抽风管耐腐蚀，同时U形抽风管的左侧管道顶壁上设有喷淋氨水的氨水喷嘴，可以利用雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气，防止熔化抽风管的特氟龙涂层，同时使三氯氧磷在抽风管内迅速液化。

主权项

磷扩散炉抽风管，其特征在于：该抽风管为U形管，抽风管一端设置开口方向与抽风管左侧管道垂直的进风口，抽风管另一端设有高于进风口的出风口，该出风口开口向上并连接抽风机，抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层。