基于区域照明的小光斑离轴对准系统

摘要

一种新的小光斑离轴对准系统，采用区域照明的技术思路，其中照明光束的光轴与成像模块的光轴不在同一直线上，从而实现各标记分支的±1级干涉成像在不同的位置，即各自对应的参考子光栅上。

主权项

一种用于光刻设备的对准系统，包括：提供对准照明光束的光源与照明模块；对对准标记进行成像的成像模块；参考光栅；采集透过参考光栅的光强信号并进行处理的信号采集处理模块；设置于硅片上的对准标记；承载硅片的运动台；采集承载硅片的工件台的位置信息，并与对准操作与管理模块进行同步谈判，规划运动轨迹，控制运动台的运动的位置采集与运动控制模块；和接收信号采集处理模块和位置采集与运动控制模块的信号的对准操作与管理模块，其特征在于：所述的照明光束的光轴与成像模块的光轴不在一条直线上。