一种化学气相沉积炉充气结构

摘要

本实用新型涉及一种化学气相沉积炉充气结构，包括安装在炉壳上部穿过隔热屏与沉积室连通的上充气系统，安装在炉壳侧壁穿过隔热屏与沉积室中部连通的中部补气系统，以及安装位于沉积室底部的下排气口，其特征在于：所述上充气系统包括数组充气单元，数组充气单元均布设置在沉积室的顶部，每组充气单元均由充气总管和充气支管构成，其中所述充气总管深入沉积室内，在沉积室内充气总管分别连通有数个充气支管，各个支管以充气总管为中心向四周等分辐射，每个支管的端部设有出气口，所述出气口与充气支管垂直。综上所述本实用新型解决了化学气相沉积炉中沉积室内气相反应物在气场中的均匀度问题，所制化学气相沉积材料的品质有大幅度提高。

主权项

一种化学气相沉积炉充气结构，包括安装在炉壳上部穿过隔热屏与沉积室连通的上充气系统，安装在炉壳侧壁穿过隔热屏与沉积室中部连通的中部补气系统，以及安装位于沉积室底部的下排气口，其特征在于：所述上充气系统包括数组充气单元，数组充气单元均布设置在沉积室的顶部，每组充气单元均由充气总管和充气支管构成，其中所述充气总管深入沉积室内，在沉积室内充气总管分别连通有数个充气支管，各个支管以充气总管为中心向四周等分辐射，每个支管的端部设有出气口，所述出气口与充气支管垂直。