一种单晶炉的炉底护盘

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉的炉底护盘，包括炉底护盘本体和排气护盖，其中，炉底护盘本体上设置有多个安装孔；可拆卸地安装在安装孔中的排气护盖上设置有排气孔。在本实用新型所提供的炉底护盘中，将排气孔设置在能够从炉底护盘本体拆卸下来的排气护盖上。在排气孔周围附着了大量杂质后，可以将排气护盖拆下，换上新的排气护盖。由于排气护盖的尺寸远小于现有炉底护盘的尺寸，其价格也相应的下降，实现了降低单晶炉的设备维修费用的目的。

主权项

一种单晶炉的炉底护盘，其特征在于，包括：设置有多个安装孔的炉底护盘本体；和设置有排气孔的排气护盖，所述排气护盖可拆卸地设置在所述安装孔中。