等离子体增强化学气相沉积电极板装置及沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种等离子体增强化学气相沉积电极板装置及沉积装置。该等离子体增强化学气相沉积电极板装置包括用于与要进行等离子体增强化学气相沉积的基板相接触的等离子体增强化学气相沉积电极板，其中等离子体增强化学气相沉积电极板上设置有用于将基板顶离或放在等离子体增强化学气相沉积电极板上的移动定位单元，等离子体增强化学气相沉积电极板装置还包括：控制移动定位单元的表面电压的移动定位单元电压控制单元，用于使移动定位单元在基板上产生与基板平行的电场。从而驱动基板上的电荷运动，使电荷被中和，或在电路图形中移动时耗散，故可以大大减少等离子体在化学气相沉积的基板表面上沉积材料层过程中的电荷积累，避免基板上发生静电释放。

主权项

一种等离子体增强化学气相沉积电极板装置，包括用于与要进行等离子体增强化学气相沉积的基板相接触的等离子体增强化学气相沉积电极板，其中，所述等离子体增强化学气相沉积电极板上设置有用于将所述基板顶离或放在所述等离子体增强化学气相沉积电极板上的移动定位单元，其特征在于，所述等离子体增强化学气相沉积电极板装置还包括：控制所述移动定位单元的表面电压的移动定位单元电压控制单元，用于使所述移动定位单元在所述基板上产生与所述基板平行的电场。