| 发明名称 | 掩膜板 | ||
| 摘要 | 本实用新型揭示了一种掩膜板，包括低膨胀系数的陶瓷掩膜板框架，以及设置在所述陶瓷掩膜板框架上的孔眼掩模。本实用新型中的所述低膨胀系数的陶瓷掩膜板框架的密度低，在较低的质量下的抗拉伸强度高，所以不会给机械人带来传送质量超出限制的问题；并且，所述陶瓷掩膜板框架制作加工的平坦度高，从而得到更精确的玻璃基板图案。 | ||
| 申请公布号 | CN203007380U | 申请公布日期 | 2013.06.19 |
| 申请号 | CN201220738819.4 | 申请日期 | 2012.12.28 |
| 申请人 | 厦门天马微电子有限公司 | 发明人 | 叶添昇 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 郑玮 |
| 主权项 | 一种掩膜板，其特征在于，包括低膨胀系数的陶瓷掩膜板框架，以及设置在所述陶瓷掩膜板框架上的孔眼掩模。 | ||
| 地址 | 361101 福建省厦门市厦门火炬高新区（翔安）产业区翔安西路6999号 | ||