| 发明名称 | 阴极波纹管接口 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及溅射镀膜设备阴极与溅射室之间的连接接口，特别是一种阴极波纹管接口。它设有波纹管，该波纹管一端通过后法兰和后密封圈连接在阴极上，该波纹管的另一端则通过前法兰和前密封圈连接到溅射室端板上；该波纹管内穿过电缆和冷却水管。该结构以柔性连接的方式，满足了溅射镀膜设备中阴极（特别是大型阴极）与溅射室之间的连接要求，保证了该连接的密封可靠性。 | ||
| 申请公布号 | CN203007394U | 申请公布日期 | 2013.06.19 |
| 申请号 | CN201220634382.X | 申请日期 | 2012.11.27 |
| 申请人 | 上海米开罗那机电技术有限公司;北京米开罗那机电技术有限责任公司 | 发明人 | 李银生 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 王敏杰 |
| 主权项 | 一种阴极波纹管接口，其特征在于：它设有波纹管（2），该波纹管（2）一端通过后法兰（31）和后密封圈（41）连接在阴极（1）上，该波纹管（2）的另一端则通过前法兰（32）和前密封圈（42）连接到溅射室端板上；该波纹管（2）内穿过电缆和冷却水管。 | ||
| 地址 | 201315 上海市浦东新区康桥东路1388号4A厂房 | ||