| 发明名称 | 一种石英支架 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种石英支架，至少包括：间隔置于第一平面上的第一侧板及第二侧板；连接于所述第一侧板及第二侧板之间的至少两个相互平行的横杆，且各该横杆与所述第一平面呈预设角度倾斜。具有以下有益效果：本实用新型将承载石英晶舟的石英支架倾斜一预设角度，使炉管内化学气体入气口及出气口的硅基片更靠近化学气体浓度均匀的区域，提升硅基片的薄层电阻均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN203013693U | 申请公布日期 | 2013.06.19 |
| 申请号 | CN201220655546.7 | 申请日期 | 2012.12.03 |
| 申请人 | 茂迪（苏州）新能源有限公司 | 发明人 | 李洋 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 余明伟 |
| 主权项 | 一种石英支架，其特征在于，至少包括：间隔置于第一平面上的第一侧板及第二侧板；连接于所述第一侧板及第二侧板之间的至少两个相互平行的横杆，且各该横杆与所述第一平面呈预设角度倾斜。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇茂迪路1号 | ||