气体注入装置及成膜装置

摘要

本发明提供一种气体注入装置及成膜装置。该气体注入装置的注入装置主体具有气体导入口并构成气体流路，气体流出孔沿着上述注入装置主体的长度方向在注入装置主体的壁部排列有多个，引导构件被设置成在引导构件与上述注入装置主体的外表面之间形成沿上述注入装置主体的长度方向延伸的狭缝状的气体喷出口，将从气体流出孔流出的气体引导到上述气体喷出口。

主权项

一种气体注入装置，其中，包括：注入装置主体，具有气体导入口及气体流路；多个气体流出孔，沿着注入装置主体的长度方向排列在注入装置主体的壁部；引导构件，被设置成在该引导构件与注入装置主体的外表面之间形成有沿着该注入装置主体的长度方向延伸的狭缝状的气体喷出口，将从气体流出孔流出的气体引导到气体喷出口，注入装置主体的壁部具有平坦部分，在平坦部分具有多个气体流出孔，狭缝状的气体喷出口位于平坦部分的一缘侧，引导构件与平坦部分平行。