一种制作微透镜或微透镜阵列的方法

摘要

本发明涉及光学元件领域，公开了一种制作微透镜或微透镜阵列的方法，首先采用光刻法在光学基板表面刻蚀需要的孔或槽阵列，然后在刻蚀的孔或槽阵列中注入相应重量的SiO2气溶胶；或者先在光学基板表面非刻蚀区域镀一层与SiO2气溶胶非浸润的膜层，然后再注入SiO2气溶胶；利用SiO2气溶胶与光学基板材料浸润的表面张力形成凹透镜、凹柱面镜等，或是利用SiO2气溶胶与膜层非浸润的表面收缩力形成凸透镜、凸柱面镜等，该方法工艺简单，成本低，并可大规模快速制作。

主权项

一种制作微透镜或微透镜阵列的方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）采用光刻法在光学基板表面刻蚀孔或槽阵列；（2）在孔或槽阵列中注入相应重量的SiO2气溶胶，所述光学基板材料为可与SiO2气溶胶浸润的材料，SiO2气溶胶与光学基板浸润，表面形成凹面或凹柱面；（3）固化SiO2气溶胶。