发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 本发明的半导体装置设有:GaN层(2)、与GaN层(2)的Ga面形成肖特基接合的阳极电极(4)以及位于阳极电极(4)的至少一部分与GaN层(2)之间的InGaN层(3)。
申请公布号 CN103168362A 申请公布日期 2013.06.19
申请号 CN201080069639.5 申请日期 2010.10.20
申请人 富士通株式会社 发明人 冈本直哉;美浓浦优一
分类号 H01L29/47(2006.01)I;H01L21/338(2006.01)I;H01L21/8232(2006.01)I;H01L27/06(2006.01)I;H01L29/778(2006.01)I;H01L29/812(2006.01)I;H01L29/872(2006.01)I 主分类号 H01L29/47(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 金世煜;苗堃
主权项 一种半导体装置,其特征在于,具有:GaN层,与所述GaN层的Ga面形成肖特基接合的阳极电极,以及位于所述阳极电极的至少一部分与所述GaN层之间的InGaN层。
地址 日本神奈川县