发明名称 |
半导体装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明的半导体装置设有:GaN层(2)、与GaN层(2)的Ga面形成肖特基接合的阳极电极(4)以及位于阳极电极(4)的至少一部分与GaN层(2)之间的InGaN层(3)。 |
申请公布号 |
CN103168362A |
申请公布日期 |
2013.06.19 |
申请号 |
CN201080069639.5 |
申请日期 |
2010.10.20 |
申请人 |
富士通株式会社 |
发明人 |
冈本直哉;美浓浦优一 |
分类号 |
H01L29/47(2006.01)I;H01L21/338(2006.01)I;H01L21/8232(2006.01)I;H01L27/06(2006.01)I;H01L29/778(2006.01)I;H01L29/812(2006.01)I;H01L29/872(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/47(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
金世煜;苗堃 |
主权项 |
一种半导体装置,其特征在于,具有:GaN层,与所述GaN层的Ga面形成肖特基接合的阳极电极,以及位于所述阳极电极的至少一部分与所述GaN层之间的InGaN层。 |
地址 |
日本神奈川县 |