| 发明名称 | 翘曲片工装、使用方法及其交接片装置 | ||
| 摘要 | 一种翘曲片工装，包括：载片衬底，用以承载翘曲片基底；紧固件，间隔设置在所述载片衬底外围边沿处，所述紧固件朝向所述载片衬底中心方向的一侧连接有一紧固扣，所述紧固扣与所述载片衬底表面具有间隙，用以容置所述翘曲片。本发明通过翘曲片工装新型的结构设计，解决了传输过程和工作台真空吸附的问题，保证了翘曲片在光刻机上连续正常的生产，同时，增强了现有光刻机的实用性、提高了生产效率，使生产良率大幅提高。 | ||
| 申请公布号 | CN103165503A | 申请公布日期 | 2013.06.19 |
| 申请号 | CN201110416820.5 | 申请日期 | 2011.12.14 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 张俊;陈勇辉 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种翘曲片工装，其特征在于，所述翘曲片工装包括：载片衬底，用以承载所述翘曲片；紧固件，间隔设置在所述载片衬底外围边沿处，所述紧固件朝向所述载片衬底中心方向的一侧连接有一紧固扣，所述紧固扣与所述载片衬底表面具有间隙，用以容置所述翘曲片。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||