发明名称 |
清洗制造有机EL器件的气相沉积掩模的方法及清洗液 |
摘要 |
本申请公开了一种用于清洗有机EL掩模的方法,所述方法包括以下步骤:(A)在洁净的腔室内提供四氢呋喃(THF)溶液;(B)将有机EL掩模浸泡在THF溶液中;(C)超声清洗浸泡在THF溶液中的有机EL掩模;以及(D)用去离子水漂洗清洗后的有机EL掩模。本申请还公开了一种用于有机EL掩模的清洗液,所述清洗液包括四氢呋喃和异丙醇。 |
申请公布号 |
CN103157619A |
申请公布日期 |
2013.06.19 |
申请号 |
CN201210459063.4 |
申请日期 |
2012.11.14 |
申请人 |
东友 FINE-CHEM 股份有限公司 |
发明人 |
李殷相;金佑逸;金炳默;洪宪杓 |
分类号 |
B08B3/04(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;C11D7/60(2006.01)I;C11D7/50(2006.01)I |
主分类号 |
B08B3/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 |
代理人 |
徐川;张颖玲 |
主权项 |
一种用于清洗有机EL掩模的方法,所述方法包括以下步骤:(A)在洁净的腔室内提供四氢呋喃THF溶液;(B)将所述有机EL掩模浸泡在所述THF溶液中;(C)超声清洗浸泡在所述THF溶液中的所述有机EL掩模;以及(D)用去离子水漂洗清洗后的所述有机EL掩模。 |
地址 |
韩国全罗北道 |