发明名称 清洗制造有机EL器件的气相沉积掩模的方法及清洗液
摘要 本申请公开了一种用于清洗有机EL掩模的方法,所述方法包括以下步骤:(A)在洁净的腔室内提供四氢呋喃(THF)溶液;(B)将有机EL掩模浸泡在THF溶液中;(C)超声清洗浸泡在THF溶液中的有机EL掩模;以及(D)用去离子水漂洗清洗后的有机EL掩模。本申请还公开了一种用于有机EL掩模的清洗液,所述清洗液包括四氢呋喃和异丙醇。
申请公布号 CN103157619A 申请公布日期 2013.06.19
申请号 CN201210459063.4 申请日期 2012.11.14
申请人 东友 FINE-CHEM 股份有限公司 发明人 李殷相;金佑逸;金炳默;洪宪杓
分类号 B08B3/04(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;C11D7/60(2006.01)I;C11D7/50(2006.01)I 主分类号 B08B3/04(2006.01)I
代理机构 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 代理人 徐川;张颖玲
主权项 一种用于清洗有机EL掩模的方法,所述方法包括以下步骤:(A)在洁净的腔室内提供四氢呋喃THF溶液;(B)将所述有机EL掩模浸泡在所述THF溶液中;(C)超声清洗浸泡在所述THF溶液中的所述有机EL掩模;以及(D)用去离子水漂洗清洗后的所述有机EL掩模。
地址 韩国全罗北道