成膜装置以及成膜方法

摘要

本发明涉及成膜装置以及成膜方法，用于抑制原料气体在喷淋板上的反应。成膜装置（100）使用喷淋板（124）朝向腔室（103）内的基板（101）供给多种气体。喷淋板（124）具有按照沿着基板（101）侧的第1面的方式在其内部延伸，与供给多种的各气体的气体管（131）连接的多个气体流路（121）；和被贯穿设置成将该多个各气体流路（121）与腔室（103）内在第1面侧连通的多个气体喷出孔（129）。在成膜装置（100）中，从气体管（131）供给到喷淋板（124）的多个气体流路（121）的多种的各气体在喷淋板（124）的内部以及附近不混合地分别从气体喷出孔（129）向基板（101）供给。

主权项

一种成膜装置，具有成膜室和喷淋板，该喷淋板设于所述成膜室的上部，并通过向所述成膜室供给的气体，该成膜装置的特征在于，所述喷淋板具有：朝向所述成膜室的内部的第1面；与所述第1面对置且朝向所述成膜室的外部的第2面；在所述第1面与所述第2面之间沿着所述第1面和所述第2面延伸的多个气体流路；和将所述多个气体流路与所述第1面连通的多个气体喷出孔，从所述多个气体流路的各一端供给来的所述气体从所述多个气体喷出孔朝向所述成膜室的内部喷出。