一种离子束运动截面的调整装置

摘要

本发明公开了一种离子束运动截面的调整装置，主要由前置电极、对电极a和b、后置电极组成。前置和后置电极用于减少对电极a、b的电场向外渗透。对电极a和对电极b上添加不同的电压。当离子束在对电极a、b运动的过程中，各个离子经过的路程相同，但因为对电极a、b的电压不同，离子在对电极a和b的运动时间不同，导致离子束离开对电极b时的截面发生变化。通过改变对电极a和b的接口形状和电压，使得离子束在离开对电极b时可以形成特定的形状。此外，根据需要可多级串联使用，对离子束进行多维度调节。

主权项

一种离子束运动截面的调整装置，其特征在于：包括前置电极(1)、对电极a(2)、对电极b(3)和后置电极(4)；前置电极(1)和后置电极(4)为平行、相对设置的金属板状电极，金属板状电极中部设置有贯穿电极板体的通孔；对电极a(2)和对电极b(3)为同轴设置的、二端开口的金属圆筒状电极，对电极a(2)和对电极b(3)置于前置电极(1)和后置电极(4)之间，且对电极a(2)和对电极b(3)与前置电极(1)和后置电极(4)上的通孔同轴；靠近前置电极(1)的对电极a(2)的端面和靠近后置电极(4)的对电极b(3)的端面平行于前置电极(1)的平面；对电极a(2)和对电极b(3)直径相等、相互间隔设置，对电极a(2)和对电极b(3)间相靠近的端面为椭圆面，它们的椭圆面相平行，椭圆面所处的平面与前置电极(1)所处的平面相交。