发明名称 Lithographic projection apparatus
摘要
申请公布号 EP1429188(B1) 申请公布日期 2013.06.19
申请号 EP20030257068 申请日期 2003.11.10
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 LOF, JOERI;BIJLAART, ERIK THEODORUS MARIA;BUTLER, HANS;DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS;HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER;KOLESNYCHENKO, ALEKSEY;LOOPSTRA, ERIK ROELOF;MEIJER, HENDRICUS JOHANNES MARIA;MERTENS, JEROEN JOHANNES SOPHIA MARIA;MULKENS, JOHANNES CATHARINUS HUBERTUS;RITSEMA, ROELOF AEILKO SIEBRAND;VAN SCHAIK, FRANK;SENGERS, TIMOTHEUS FRANCISCUS;SIMON, KLAUS;DE SMIT, JOANNES THEODOOR;STRAAIJER, ALEXANDER;STREEFKERK, BOB;VAN SANTEN, HELMAR
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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