发明名称 ACTUATOR, LITHOGRAPHIC APPARATUS, AND ACTUATOR CONSTRUCTING METHOD
摘要 <p>An actuator includes a coil; a cooling body configured to cool the coil; a quantity of heat transfer material fixedly arranged between the cooling body and the coil, and a mechanical attacher configured to attach the coil to the cooling body.</p>
申请公布号 KR101276599(B1) 申请公布日期 2013.06.19
申请号 KR20100088362 申请日期 2010.09.09
申请人 发明人
分类号 G03B27/52;G03F7/20 主分类号 G03B27/52
代理机构 代理人
主权项
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